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本 >
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出版社名：エヌ・ティー・エス
出版年月：2003年4月
ISBN：978-4-86043-019-1
１冊 ２７ｃｍ
薄膜作製応用ハンドブック
権田俊一／監修 小川正毅／編集委員 多賀康訓／編集委員
組合員価格 税込
67,925
円
(通常価格 税込 71,500円)
割引率 5%
お取り寄せ
お届け日未定
※ご注文が集中した場合、お届けが遅れる場合がございます。
内容紹介・もくじなど
もくじ情報：第１編 薄膜材料の特性と特徴（薄膜の特徴と特性；薄膜材料の電気特性 ほか）；第２編 薄膜の作製と加工（基板と表面処理；ＰＶＤ法 ほか）；第３編 薄膜・表面・界面の分析と評価（薄膜・表面・界面の分析・評価；薄膜分析・評価対象各論）；第４編 薄膜技術の応用と展望（半導体デバイス；光部品 ほか）
もくじ情報：第１編 薄膜材料の特性と特徴（薄膜の特徴と特性；薄膜材料の電気特性 ほか）；第２編 薄膜の作製と加工（基板と表面処理；ＰＶＤ法 ほか）；第３編 薄膜・表面・界面の分析と評価（薄膜・表面・界面の分析・評価；薄膜分析・評価対象各論）；第４編 薄膜技術の応用と展望（半導体デバイス；光部品 ほか）
著者プロフィール
権田 俊一(ゴンダ シュンイチ)
大阪大学名誉教授・福井工業大学教授（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
権田 俊一(ゴンダ シュンイチ)
大阪大学名誉教授・福井工業大学教授（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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