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内容紹介・もくじなど
著者プロフィール
大津 元一(オオツ モトイチ)
1973年東京工業大学工学部電子工学科卒業、1978年同大学院理工学研究科電子物理工学専攻博士後期課程修了。現在、東京工業大学教授。工学博士(1978年) 大津 元一(オオツ モトイチ)
1973年東京工業大学工学部電子工学科卒業、1978年同大学院理工学研究科電子物理工学専攻博士後期課程修了。現在、東京工業大学教授。工学博士(1978年) |
もくじ情報:第1章 ナノフォトニクス事始め(ナノフォトニクスとは何か?;近接場光を使えばできる ほか);第2章 微細計測、分析への挑戦(ナノ領域には何がある?;ナノ領域を光らせる ほか);第3章 極限加工への挑戦(近接場光リソグラフィへの道のり;近接場光リソグラフィを実用技術に―二層レジスト ほか);第4章 高密度記録の限界への挑戦(高密度記録の必要性;では、どうやって高記録密度を実現するか? ほか);第5章 マイクロマシンの限界への挑戦(マイクロマシンの誕生;光技術とマイクロマシン ほか)
もくじ情報:第1章 ナノフォトニクス事始め(ナノフォトニクスとは何か?;近接場光を使えばできる ほか);第2章 微細計測、分析への挑戦(ナノ領域には何がある?;ナノ領域を光らせる ほか);第3章 極限加工への挑戦(近接場光リソグラフィへの道のり;近接場光リソグラフィを実用技術に―二層レジスト ほか);第4章 高密度記録の限界への挑戦(高密度記録の必要性;では、どうやって高記録密度を実現するか? ほか);第5章 マイクロマシンの限界への挑戦(マイクロマシンの誕生;光技術とマイクロマシン ほか)