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出版社名：シーエムシー出版
出版年月：2007年3月
ISBN：978-4-88231-915-3
３１６Ｐ ２１ｃｍ
プラズマ・イオンビームとナノテクノロジー 普及版/ＣＭＣテクニカルライブラリー ２５２
上条栄治／監修
組合員価格 税込
4,598
円
(通常価格 税込 4,840円)
割引率 5%
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お届け日未定
※ご注文が集中した場合、お届けが遅れる場合がございます。
内容紹介・もくじなど
もくじ情報：総論 プラズマ・イオンビーム技術の新展開；基礎編（プラズマの物理化学；イオンビームの物理化学；プラズマ装置；イオンビーム装置）；機能材料応用編（イオン注入による表面機能材料；薄膜誘電体材料；ダイヤモンドおよび関連材料；フラーレン；光機能材料；薄膜積層多層材料）
もくじ情報：総論 プラズマ・イオンビーム技術の新展開；基礎編（プラズマの物理化学；イオンビームの物理化学；プラズマ装置；イオンビーム装置）；機能材料応用編（イオン注入による表面機能材料；薄膜誘電体材料；ダイヤモンドおよび関連材料；フラーレン；光機能材料；薄膜積層多層材料）
著者プロフィール
上條 榮治(カミジョウ エイジ)
龍谷大学理工学部物質化学科教授。（現）龍谷大学名誉教授ＲＥＣフェロー（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
上條 榮治(カミジョウ エイジ)
龍谷大学理工学部物質化学科教授。（現）龍谷大学名誉教授ＲＥＣフェロー（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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龍谷大学理工学部物質化学科教授。（現）龍谷大学名誉教授ＲＥＣフェロー（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
龍谷大学理工学部物質化学科教授。（現）龍谷大学名誉教授ＲＥＣフェロー（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）