気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体について，その特長と，乾燥，めっき，薄膜体積，洗浄など，半導体・ＭＥＭＳのユニットプロセスへの応用をわかりやすく解説した，超臨界流体のマイクロプロセス応用としては初めての本。

もくじ情報：１　超臨界流体とマイクロ・ナノプロセス；２　半導体とＭＥＭＳの製造プロセス；３　超臨界乾燥；４　超臨界流体を用いた半導体・ＭＥＭＳ洗浄技術；５　多孔質薄膜と細孔エンジニアリング；６　めっきへの応用；７　化学的薄膜堆積；８　超臨界流体を用いたエッチング加工

近藤　英一(コンドウ　エイイチ)
１９８５年早稲田大学理工学部金属工学科卒業。１９８７年早稲田大学大学院博士前期課程修了（資源および金属工学専攻）。川崎製鐵株式会社（現ＪＦＥスチール株式会社）勤務。１９９４年川崎製鐵株式会社ハイテク研究所主任研究員。１９９５年博士（工学）（京都大学）。１９９６年ＩＭＥＣ（ベルギー）研究員。１９９７年ＩＭＥＣエキスパート研究員。１９９８年九州工業大学助教授。２０００年山梨大学助教授。２００７年山梨大学教授（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）