電子線で試料表面を走査する走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）は、試料表面形状だけではなく、試料の元素組成や結晶方位、三次元形状など、さまざまな情報を得る手法として発展を遂げ、多くの研究・産業分野で広く用いられている。本書は、このようにＳＥＭの応用が広がっている状況を踏まえ初版を大幅に改訂。ＳＥＭの基礎的・理論的な説明から、分野に応じた試料の準備・前処理法や観察手法を実際の観察事例とともに解説した。さらに、データサイエンス・機械学習の応用や三次元像の構築、自動化なども、最新の実例とともに紹介している。ＳＥＭの初心者から、応用を検討している実務者・研究者まで必携の一冊。
もくじ情報：１　走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）とは何か；２　ＳＥＭの像形成の基礎；３　ＳＥＭの装置；４　ＳＥＭ観察の実際；５　ＳＥＭの応用・発展；６　発展的手法