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内容紹介・もくじなど
著者プロフィール
松井 真二(マツイ シンジ)
昭５６阪大・基礎工・博士了。同年日本電気（株）入社。基礎研究所にて電子・イオンビームを利用したナノテクノロジー研究、平９（株）半導体先端テクノロジー基盤技術研究部にて先端電子ビーム描画装置開発リーダを経て、平１０‐１５姫路工大高度研教授、平１６兵庫県立大高度研教授。電子・イオンビーム・ナノインプリントを利用したナノテクノロジー研究開発に従事。工博。電子情報通信学会、応用物理学会、精密工学会各会員 松井 真二(マツイ シンジ)
昭５６阪大・基礎工・博士了。同年日本電気（株）入社。基礎研究所にて電子・イオンビームを利用したナノテクノロジー研究、平９（株）半導体先端テクノロジー基盤技術研究部にて先端電子ビーム描画装置開発リーダを経て、平１０‐１５姫路工大高度研教授、平１６兵庫県立大高度研教授。電子・イオンビーム・ナノインプリントを利用したナノテクノロジー研究開発に従事。工博。電子情報通信学会、応用物理学会、精密工学会各会員 |
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もくじ情報：ナノインプリントと微細加工；ナノインプリントの物理化学とシミュレーション；熱ナノインプリント；ＵＶナノインプリント；室温ナノインプリント；モールド技術；離型技術；装置技術；３次元化・積層技術；ナノ光学応用〔ほか〕
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