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出版社名:シーエムシー出版
出版年月:2019年4月
ISBN:978-4-7813-1364-1
279P 26cm
異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合 普及版/新材料・新素材シリーズ
益一哉/監修 年吉洋/監修 町田克之/監修
組合員価格 税込 7,002
(通常価格 税込 7,370円)
割引率 5%
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内容紹介・もくじなど
もくじ情報:第1編 総論編;第2編 プロセス技術編;第3編 回路・デバイス設計技術編;第4編 NEMS技術編;第5編 センサ技術編;第6編 RF‐MEMS技術編;第7編 エネルギーハーベスト技術編;第8編 実装技術編;第9編 解析・評価技術編
もくじ情報:第1編 総論編;第2編 プロセス技術編;第3編 回路・デバイス設計技術編;第4編 NEMS技術編;第5編 センサ技術編;第6編 RF‐MEMS技術編;第7編 エネルギーハーベスト技術編;第8編 実装技術編;第9編 解析・評価技術編