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出版社名：産業図書
出版年月：1994年3月
ISBN：978-4-7828-2053-7
２９６Ｐ　２２ｃｍ
低温プラズマ材料化学
長田義仁／編著
 
組合員価格 税込 4,950円
(通常価格 税込 5,500円)
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内容紹介・もくじなど
もくじ情報：第１章　低温プラズマによる物質創製の意義；第２章　プラズマの化学；第３章　プラズマＣＶＤ；第４章　イオンプレーティング；第５章　スパッタリング；第６章　プラズマ重合；第７章　プラズマ表面処理；第８章　プラズマエッチング
もくじ情報：第１章　低温プラズマによる物質創製の意義；第２章　プラズマの化学；第３章　プラズマＣＶＤ；第４章　イオンプレーティング；第５章　スパッタリング；第６章　プラズマ重合；第７章　プラズマ表面処理；第８章　プラズマエッチング

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