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出版社名:産業図書
出版年月:2004年3月
ISBN:978-4-7828-5550-8
499P 27cm
半導体デバイス 基礎理論とプロセス技術
S.M.ジィー/著 南日康夫/訳 川辺光央/訳 長谷川文夫/訳
組合員価格 税込 6,534
(通常価格 税込 7,260円)
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デバイス物理の基礎的部分をより解り易くし、さらに最近のデバイスを理解するうえで必要な新知識を追加。大幅に新しくなった改訂版。
デバイス物理の基礎的部分をより解り易くし、さらに最近のデバイスを理解するうえで必要な新知識を追加。大幅に新しくなった改訂版。
内容紹介・もくじなど
本書は、最近の半導体デバイス物理と作製技術のほとんどを網羅した入門書である。デバイス形成の各段階において、評価と作製技術の理論と実際が集積回路に重点をおきつつ述べられている。
もくじ情報:第1部 半導体物理(エネルギーバンドと熱平衡状態におけるキャリア密度;キャリアの輸送現象);第2部 半導体デバイス(p‐n接合;バイポーラ・トランジスタとその関連デバイス;MOSFETと関連デバイス ほか);第3部 半導体技術(結晶成長とエピタキシィ;薄膜の形成;リソグラフィとエッチング ほか)
本書は、最近の半導体デバイス物理と作製技術のほとんどを網羅した入門書である。デバイス形成の各段階において、評価と作製技術の理論と実際が集積回路に重点をおきつつ述べられている。
もくじ情報:第1部 半導体物理(エネルギーバンドと熱平衡状態におけるキャリア密度;キャリアの輸送現象);第2部 半導体デバイス(p‐n接合;バイポーラ・トランジスタとその関連デバイス;MOSFETと関連デバイス ほか);第3部 半導体技術(結晶成長とエピタキシィ;薄膜の形成;リソグラフィとエッチング ほか)
著者プロフィール
ジィー,S.M.(ジィー,S.M.)
現在、台湾National Chiao Tung UniversityのUMC Chair ProfessorでありNational Nano Device Laboratoriesの所長を務めている。長年にわたって、米国ベル研究所の研究員であった。Sze教授は、不揮発性半導体メモリの共同発明者でもある。また、多くの半導体教科書の執筆者としても良く知られており、中でもPHYSICS OF SEMICONDUCTOR DEVICESは古典的な参考書とされている。1991年に半導体デバイスにおける基礎的、パイオニア的貢献によりIEEE J.J.Ebers賞を受…(続く
ジィー,S.M.(ジィー,S.M.)
現在、台湾National Chiao Tung UniversityのUMC Chair ProfessorでありNational Nano Device Laboratoriesの所長を務めている。長年にわたって、米国ベル研究所の研究員であった。Sze教授は、不揮発性半導体メモリの共同発明者でもある。また、多くの半導体教科書の執筆者としても良く知られており、中でもPHYSICS OF SEMICONDUCTOR DEVICESは古典的な参考書とされている。1991年に半導体デバイスにおける基礎的、パイオニア的貢献によりIEEE J.J.Ebers賞を受賞している。PhDは、固体電子工学に関して1963年スタンフォード大学より受けている