もくじ情報：第１章　無機膜の製造プロセス（ＰＶＤ法；ＣＶＤ法　ほか）；第２章　無機膜の製造装置技術（最新のフィルムコンデンサー用巻取蒸着装置；反応性プラズマ蒸着装置　ほか）；第３章　無機膜の物性評価技術（薄膜の組成と構造；薄膜の密着力および内部応力　ほか）；第４章　無機膜の最新応用技術（工具・金型分野への応用；シリサイド系半導体薄膜の発光／受光デバイスへの応用　ほか）；第５章　最新のトピックス（熱線反射膜と製品；プラスチックフィルムのガスバリア膜　ほか）

上條　榮治(カミジョウ　エイジ)
龍谷大学名誉教授。ＲＥＣフェロー（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）