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出版社名：大河出版
出版年月：1992年9月
ISBN：978-4-88661-100-0
３０８Ｐ　２３ｃｍ

スーパーコーティング　硬質膜の機能と利用技術

精密工学会・硬質膜の形成と応用に関する調査・研究分科会／編

組合員価格税込 7,016円
(通常価格税込 7,796円)
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内容紹介・もくじなど

本書は、ダイヤモンド膜、ｃＢＮ膜を中心としてはいるが、他の硬質膜についてもできるだけ触れ、硬質膜について全般的な知識が得られるように構成した。評価と応用をできるだけ含めるようにしてある。
もくじ情報：第１章　硬質膜材料と製法；第２章　硬質膜の評価方法；第３章　ダイヤモンドの加工法；第４章　硬質膜の応用