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本 > 工学 > 電気電子工学 > 電子工学一般
出版社名：裳華房
出版年月：1998年3月
ISBN：978-4-7853-2508-4
２３４Ｐ　２２ｃｍ
マイクロ加工の物理と応用/応用物理学選書　８
吉田善一／著
 
組合員価格 税込 4,389円
(通常価格 税込 4,620円)
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内容紹介・もくじなど
本書は、マイクロテクノロジーの中核であるマイクロ加工の原理から応用までを総合的に理解できるように、学部あるいは大学院の学生、それに初めてマイクロ加工に従事する研究者や技術者の入門書として書かれたものである。
もくじ情報：１　マイクロ加工の意義；２　光・電子・イオン；３　粒子と固体との相互作用；４　加工現象；５　加工装置；６　マイクロマシニング
本書は、マイクロテクノロジーの中核であるマイクロ加工の原理から応用までを総合的に理解できるように、学部あるいは大学院の学生、それに初めてマイクロ加工に従事する研究者や技術者の入門書として書かれたものである。
もくじ情報：１　マイクロ加工の意義；２　光・電子・イオン；３　粒子と固体との相互作用；４　加工現象；５　加工装置；６　マイクロマシニング

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