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出版社名：エヌ・ティー・エス
出版年月：2003年4月
ISBN：978-4-86043-019-1
１冊　２７ｃｍ

薄膜作製応用ハンドブック

権田俊一／監修　小川正毅／編集委員　多賀康訓／編集委員

組合員価格税込 64,350円
(通常価格税込 71,500円)
割引率 10%

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内容紹介・もくじなど

もくじ情報：第１編　薄膜材料の特性と特徴（薄膜の特徴と特性；薄膜材料の電気特性　ほか）；第２編　薄膜の作製と加工（基板と表面処理；ＰＶＤ法　ほか）；第３編　薄膜・表面・界面の分析と評価（薄膜・表面・界面の分析・評価；薄膜分析・評価対象各論）；第４編　薄膜技術の応用と展望（半導体デバイス；光部品　ほか）

著者プロフィール

権田　俊一(ゴンダ　シュンイチ)
大阪大学名誉教授・福井工業大学教授（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

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