本書は、今日の代表的な最先端技術である超ＬＳＩ技術を、化学技術者の目で見、理解してまとめられたものである。すなわち超ＬＳＩのしくみ、市場問題や今までの発展過程を述べたあと、超ＬＳＩ製造プロセスとそれを支える要素技術・パッケージング技術・評価技術を紹介し、解決が望まれている問題点を明らかにしている。
もくじ情報：１　超ＬＳＩの開く世界；２　半導体マーケット；３　半導体技術の歩みと展望；４　超ＬＳＩのしくみ；５　超ＬＳＩ製造プロセス；６　周辺技術；７　今後の技術的諸課題；８　ケミカルエンジニアリングからのアプローチ