材料プロセス技術として不可欠な電子ビーム、イオンビームの技術についてわかりやすく解説した。

本書では、電子だけでなくイオンも含めた荷電粒子の発生、ビーム輸送・操作に加えて、それらを用いた材料プロセスも重要なテーマであると位置づけ、荷電粒子ビームと固体との相互作用の入門的な記述も加え、また、電子およびイオンビーム技術に関し、その基本となる基礎現象の理解ができるだけ得られるように、現象の物理的意味をわかりやすく解説している。
もくじ情報：１　荷電粒子ビームの特質と利用形態；２　電子とイオン；３　電子の発生とビーム形成；４　イオンの発生とビーム形成；５　ビーム輸送と操作；６　ビームと固体原子の相互作用；７　高周波エネルギー変換デバイス；８　荷電粒子ビーム装置

石川　順三(イシカワ　ジュンゾウ)
１９６８年京都大学工学部電子工学科卒業。１９７０年京都大学大学院修士課程修了（電気工学第二専攻）。１９８１年工学博士（京都大学）。１９８４年京都大学助教授。１９８９年京都大学教授。現在に至る