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出版社名:シーエムシー出版
出版年月:2006年6月
ISBN:978-4-88231-569-8
305P 27cm
機能性無機膜の製造と応用/新材料シリーズ
新無機膜研究会/編集 上条栄治/監修
組合員価格 税込 64,350
(通常価格 税込 71,500円)
割引率 10%
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内容紹介・もくじなど
もくじ情報:第1章 無機膜の製造プロセス(PVD法;CVD法 ほか);第2章 無機膜の製造装置技術(最新のフィルムコンデンサー用巻取蒸着装置;反応性プラズマ蒸着装置 ほか);第3章 無機膜の物性評価技術(薄膜の組成と構造;薄膜の密着力および内部応力 ほか);第4章 無機膜の最新応用技術(工具・金型分野への応用;シリサイド系半導体薄膜の発光/受光デバイスへの応用 ほか);第5章 最新のトピックス(熱線反射膜と製品;プラスチックフィルムのガスバリア膜 ほか)
もくじ情報:第1章 無機膜の製造プロセス(PVD法;CVD法 ほか);第2章 無機膜の製造装置技術(最新のフィルムコンデンサー用巻取蒸着装置;反応性プラズマ蒸着装置 ほか);第3章 無機膜の物性評価技術(薄膜の組成と構造;薄膜の密着力および内部応力 ほか);第4章 無機膜の最新応用技術(工具・金型分野への応用;シリサイド系半導体薄膜の発光/受光デバイスへの応用 ほか);第5章 最新のトピックス(熱線反射膜と製品;プラスチックフィルムのガスバリア膜 ほか)
著者プロフィール
上條 榮治(カミジョウ エイジ)
龍谷大学名誉教授。RECフェロー(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
上條 榮治(カミジョウ エイジ)
龍谷大学名誉教授。RECフェロー(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)