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内容紹介・もくじなど
著者プロフィール
佐藤 淳一(サトウ ジュンイチ)
京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業（株）（現ＴＤＫ）入社。１９８２年、ソニー（株）入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです） 佐藤 淳一(サトウ ジュンイチ)
京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業（株）（現ＴＤＫ）入社。１９８２年、ソニー（株）入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです） |
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もくじ情報：第１章 半導体製造装置を取り巻く現状；第２章 半導体製造装置をファブから理解する；第３章 洗浄・乾燥装置；第４章 イオン注入装置；第５章 熱処理装置；第６章 リソグラフィー装置；第７章 エッチング装置；第８章 成膜装置；第９章 平坦化（ＣＭＰ）装置；第１０章 検査・測定・解析装置；第１１章 後工程装置
もくじ情報：第１章 半導体製造装置を取り巻く現状；第２章 半導体製造装置をファブから理解する；第３章 洗浄・乾燥装置；第４章 イオン注入装置；第５章 熱処理装置；第６章 リソグラフィー装置；第７章 エッチング装置；第８章 成膜装置；第９章 平坦化（ＣＭＰ）装置；第１０章 検査・測定・解析装置；第１１章 後工程装置