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出版社名：シーエムシー出版
出版年月：2011年9月
ISBN：978-4-7813-0359-8
３０５Ｐ　２１ｃｍ
機能性無機膜　開発技術と応用　普及版/〔ＣＭＣテクニカルライブラリー〕　４０３　新材料・新素材シリーズ
上條榮治／監修
 
組合員価格 税込 4,554円
(通常価格 税込 5,060円)
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内容紹介・もくじなど
もくじ情報：第１章　無機膜の製造プロセス（ＰＶＤ法；ＣＶＤ法　ほか）；第２章　無機膜の製造装置技術（最新のフィルムコンデンサー用巻取蒸着装置；反応性プラズマ蒸着装置　ほか）；第３章　無機膜の物性評価技術（薄膜の組成と構造；薄膜の密着力および内部応力　ほか）；第４章　無機膜の最新応用技術（工具・金型分野への応用；シリサイド系半導体薄膜の発光／受光デバイスへの応用　ほか）；第５章　最新のトピックス（熱線反射膜と製品；プラスチックフィルムのガスバリア膜　ほか）
もくじ情報：第１章　無機膜の製造プロセス（ＰＶＤ法；ＣＶＤ法　ほか）；第２章　無機膜の製造装置技術（最新のフィルムコンデンサー用巻取蒸着装置；反応性プラズマ蒸着装置　ほか）；第３章　無機膜の物性評価技術（薄膜の組成と構造；薄膜の密着力および内部応力　ほか）；第４章　無機膜の最新応用技術（工具・金型分野への応用；シリサイド系半導体薄膜の発光／受光デバイスへの応用　ほか）；第５章　最新のトピックス（熱線反射膜と製品；プラスチックフィルムのガスバリア膜　ほか）

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