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出版社名：秀和システム
出版年月：2019年12月
ISBN：978-4-7980-6037-8
２６１Ｐ　２１ｃｍ
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み　ファブから検査まで製造装置を俯瞰する/図解入門：Ｈｏｗ‐ｎｕａｌ　Ｖｉｓｕａｌ　Ｇｕｉｄｅ　Ｂｏｏｋ
佐藤淳一／著
 
組合員価格 税込 1,980円
(通常価格 税込 2,200円)
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内容紹介・もくじなど
製造装置の構想・構成から、検査・想定・解析装置まで。製造装置の現状と進歩が図解でよくわかる！
もくじ情報：第１章　半導体製造装置を取り巻く現状；第２章　半導体製造装置をファブから理解する；第３章　洗浄・乾燥装置；第４章　イオン注入装置；第５章　熱処理装置；第６章　リソグラフィー装置；第７章　エッチング装置；第８章　成膜装置；第９章　平坦化（ＣＭＰ）装置；第１０章　検査・測定・解析装置；第１１章　後工程装置
製造装置の構想・構成から、検査・想定・解析装置まで。製造装置の現状と進歩が図解でよくわかる！
もくじ情報：第１章　半導体製造装置を取り巻く現状；第２章　半導体製造装置をファブから理解する；第３章　洗浄・乾燥装置；第４章　イオン注入装置；第５章　熱処理装置；第６章　リソグラフィー装置；第７章　エッチング装置；第８章　成膜装置；第９章　平坦化（ＣＭＰ）装置；第１０章　検査・測定・解析装置；第１１章　後工程装置
著者プロフィール
佐藤　淳一(サトウ　ジュンイチ)
京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業（株）（現ＴＤＫ）入社。１９８２年、ソニー（株）入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
佐藤　淳一(サトウ　ジュンイチ)
京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業（株）（現ＴＤＫ）入社。１９８２年、ソニー（株）入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

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